

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

睿米标准漏孔在半导体 RGA分析全场景应用

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
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上海睿米(RealMeter)是专注标准漏孔与微流量控制研发制造的专业厂商。依托自主研发核心工艺,实现多关键场景设备国产化配套,产品覆盖完整漏率区间、多元介质与各类复杂工况,广泛服务高端制造、科研计量领域。 企业深耕真空检漏、微流控技术领域十余载,凭借自研核心工艺完善国内精密检漏配套供给,具备覆盖多场景需求的完整标准漏孔产品矩阵,多项性能指标可匹配国际主流同类产品,持续为国内先进智造提供高精度、高稳定性流体控制与真空检漏一体化解决方案。
自主创新 · 匠心制造 · 追求卓越
睿米专注于核心技术自主研发,致力于精密制造工艺的持续优化。通过不断的技术积累与创新实践,产品在多项关键指标上达到行业较高水平,为客户提供可靠的解决方案。
全漏率 ・ 全介质 ・ 全工况 ・ 全覆盖

作为睿米核心产品,覆盖无源、有源、液体、特殊介质全类型,核心参数行业最优:
• 无源漏孔:开放式 / 高压型(最高 40MPa),适配氦 / 氢 / 氮 / 空气 / 冷媒等常规介质
• 有源漏孔:带气室 / 零体积阀设计,RMI-PSOZV™ 系列为核心,精度达行业最高水平
• 液体漏孔:PSOZV™/RGA 系列,实现水 / 正十二烷 / DMC 等液体介质液气二相精准定量
• 特殊介质漏孔:C₁₄/C₁₆、PFTBA、SF₆、混气漏孔等,专为航天、半导体等高端领域定制
核心参数• 漏率范围:100 mbar・L/s ~ 10⁻¹³ mbar・L/s(全量程全覆盖)
• 压力支持:<0.1 Pa ~ 40 MPa(压力全覆盖)
• 温漂低至:0.1%/℃(行业最优)

• 检漏吸枪:RHSP 标准通用型、SQT-100 超级快速型(支持 5–100 米长距离检漏)
• 检漏仪集成:完美适配 Inficon、Leybold、Pfeiffer、Agilent 等全球全品牌检漏仪,无缝对接现有设备
掌握核心科技 · 助力中国先进智造Mastering core technologies · Facilitating advanced manufacturing in China
