睿米面向半导体微电子领域，为晶圆制程设备、真空生产设备及质谱分析系统提供精准标定方案。PFTBA 全质量数质谱漏孔用于四极杆质谱仪与 RGA 残余气体分析仪的全量程校准；正十二烷（n-C12H26）标准漏孔助力 EUV 光刻系统中重碳氢化合物（HHC）的定量检测，攻克行业难题；PSOZV™/MDZV™零体积阀漏孔呆体积仅 0.098μL，阀门开关气体接近零损失，对超高真空系统零冲击，适配半导体真空腔体、气体管路及晶圆封装设备检漏。支持 He、H2、N2、Ar、Kr、Xe 等全介质及多组份混气定制，RMI-Metal™金属密封工艺（<1×10⁻¹⁵ atm・cc/s）确保超高真空环境下极低本底泄漏，满足半导体产线高精度、高稳定性的计量需求。