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10-3mbar.l/s氦气(He)标准漏孔 RMI-PSOZV™零体积常闭气动阀

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所属分类：有源漏孔 产品简介
10-3mbar.l/s(10-4Pa.m3/s)级别的有源氦气(He)标准漏孔，因为漏率大，年衰减大，普通阀门的标准漏孔需要经常补气。根据标准漏孔校准检漏仪或者系统的时间，通常很短，一般为几分钟。睿米公司自研RMI-PSOZV™零体积常闭气动阀，解决了大漏率漏孔的衰减快的问题。使用时，打开阀门；不使用时，关闭阀门。 睿米公司自研RMI-PSOZV™零体积常闭气动阀，真正做到了“零体积”。RMI-PSOZV™零体积常闭气动阀的死体积（Dead Volume）为0.000098cc，仅为同类阀门死体积（~0.1~1cc）的1‰或更小，阀门打开时不会冲击高真空或超高真空系统。 例如：有源He标准漏孔，漏率：5.28x10-4pa.m³/sec（即5.28x10-3mbar.l/s） PSOZV™零体积常闭气动阀标准漏孔:气室1000cc,充气压力：100bar 漏率衰减：<0.1%(自然衰减) （阀门呆体积0.098ul，即0.000098ml） ＜2.5%/年(365x2次x5分钟）＜5.0%/年(365x2次x10分钟）
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睿米公司的标准漏孔，采用自研RMI-MTC™微通道毛细管技术，配合自研RMI-Cal™气体物质属性、流导模拟/仿真算法，可以做到根据用户的要求进行精确定制：

 

   ✪指定漏率，指定压力。

   ✪提供全气体选择：包括但不限于He，H2, Air，Ar，N2，CH4，R-134a，600a，SF6等单一气体或混合气体，十二烷C12H26、DMC碳酸二甲酯C3H6O3等液体。

   ✪并且提供众多的接头，供用户选择。

   ✪自研RMI-MZV™零体积手动阀，自研RMI-PSOZV™零体积主动关闭阀。

Detailed technical specifications详细技术规格

技术规格(典型，RMI-MZV™零体积常闭气动阀)

1

型号

TLS-2   或TLS-3P

2

订货号

RM515.0-31461V0/4

3

漏率

5.0x10-3mbar.L/sec (10-4Pa.m³/sec)  入真空&大气  ±10%

4

制作工艺

RMI-MTC™微通道毛细管, RMI-Metal™金属密封（<1x10-15 atm.cc/sec），抗震抗摔| 支持高压(气室最高~12MPa)|-20-65℃, 温度系数:0.1%/℃(可忽略)

5

气室规格

1000cc, 可反复充气设计

6

漏率衰减

<0.1%(自然衰减)

＜2.5%/年(365x2次x5分钟）＜5.0%/年(365x2次x10分钟）

可多年无需补气，1~2年校准一次即可

7

充气压力

10Mpa

8

接口

VCR¼公头，可转接KF16/25/40/CF，或Φ10.0mm吸枪适配口

9

阀门

RMI-PSOZV™零体积常闭气动阀，

气动执行：5-8bar（M5内丝，转6*4快拧，接6mm气管）

呆体积：0.098μL，开/关阀门气体接近0损失, 对系统0冲击

内漏：<5x10-10atm.cc/sec

外漏：<1x10-11atm.cc/sec

10

规格尺寸

380mm(长)x110mm(最宽)

11

证书

出厂合格证或第三方CNAS证书

睿米 ® 标准漏孔：深耕漏孔技术领域，提供高精度解决方案

RealMeter® Calibrated Leak Standard: Focused on leak standard technology, delivering precision solutions

 

上海睿米仪器仪表有限公司，专业专注标准漏孔的研发与规模化生产。依托多年精密测控技术沉淀，公司成功突破微通道毛细管核心工艺难题，自主研发出多款达到国际先进技术水平的标准漏孔产品。公司产品广泛应用于新能源、汽车、制冷、电子、电力、半导体、航空航天、核工业、医疗、食品包装等众多领域，持续为各行业提供高精度、高稳定性的标准漏孔计量产品，助力各行业气密性检测与质控工作实现更高效、更精准的标准化管控。

 


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