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RMI-MZV™零体积阀He标准漏孔

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所属分类：有源漏孔 产品简介
对于漏率大的标准漏孔（例如10-2mbar.l/s 至 10-5mbar.l/s），都会面临一个衰减大的问题。衰减大了，气室内的压力低了，直接反应，标准漏孔的漏率降低，测试不准确。解决衰减大的问题，通常从三个方面解决： 1、增加气室的体积，这是普遍采用的方法。睿米公司的标准漏孔的气室体积从160cc增加到1000cc; 2、增加充气压力，即增加气室内的气体压力。但是，传统情况，标准漏孔的工艺决定，气室内的压力不能太大，决定了，这种方法只有极少数厂家使用。睿米公司开发出RMI-MTC™微通道毛细管技术，支持40MPa的压力，有源标准漏孔的气室，可以充到约10MPa的压力。 3、零体积阀替代普通的阀门。要求零体积阀制作精度高，零体积阀的死体积一定要小；标准漏孔的整体制造工艺要强。由于标准漏孔的制作工艺要求高，只有极少数公司提供零体积阀；其中大部分零体积阀的死体积较大，阀门打开还是会对系统造成冲击。（死体积（Dead Volume）是指阀门关闭时漏孔与阀门关闭处的死空间，阀门关闭时漏孔继续泄漏到死空间累积直至压力平衡。所以常规阀门的标准漏孔会在关闭阀门一段时间后打开，死空间
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睿米公司的标准漏孔，采用自研RMI-MTC™微通道毛细管技术，配合自研RMI-Cal™气体物质属性、流导模拟/仿真算法，可以做到根据用户的要求进行精确定制：

 

   ✪指定漏率，指定压力。

   ✪提供全气体选择：包括但不限于He，H2, Air，Ar，N2，CH4，R-134a，600a，SF6等单一气体或混合气体，十二烷C12H26、DMC碳酸二甲酯C3H6O3等液体。

   ✪并且提供众多的接头，供用户选择。

   ✪自研RMI-MZV™零体积手动阀，自研RMI-PSOZV™零体积主动关闭阀。

Detailed technical specifications详细技术规格

技术规格(典型，RMI-MZV™零体积手动阀)

1

型号

TLS-2   或TLS-3P

2

订货号

RM51L-21321VG/4

3

漏率

1~3x10-2mbar.L/sec (10-3Pa.m³/sec) 

4

制作工艺

RMI-MTC™微通道毛细管, RMI-Metal™金属密封（<1x10-15 atm.cc/sec），抗震抗摔| 支持高压(气室最高~12MPa)|-20-65℃, 温度系数:0.1%/℃(可忽略)

5

气室规格

300cc, 可反复充气设计

6

衰减

~2.2%/年(年使用100次，平均5min/次）

~4.2%/年(年使用200次，平均5min/次）

不使用时请务必关闭阀门

7

充气压力

>10MPa,带压力表

8

接口

KF25

9

阀门

RMI-MZV™零体积手动阀，集成KF25接一体化设计,阀门死体积<0.1μL，泄漏率<5x10-9 atm.cc/sec @10Mpa. 长期关闭阀门对高真空系统零冲击

10

规格尺寸

330mm(长)x100mm(最宽)

11

证书

出厂合格证或第三方CNAS证书

睿米 ® 标准漏孔：深耕漏孔技术领域，提供高精度解决方案

RealMeter® Calibrated Leak Standard: Focused on leak standard technology, delivering precision solutions

 

上海睿米仪器仪表有限公司，专业专注标准漏孔的研发与规模化生产。依托多年精密测控技术沉淀，公司成功突破微通道毛细管核心工艺难题，自主研发出多款达到国际先进技术水平的标准漏孔产品。公司产品广泛应用于新能源、汽车、制冷、电子、电力、半导体、航空航天、核工业、医疗、食品包装等众多领域，持续为各行业提供高精度、高稳定性的标准漏孔计量产品，助力各行业气密性检测与质控工作实现更高效、更精准的标准化管控。

 


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