

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

睿米标准漏孔在半导体 RGA分析全场景应用

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
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睿米公司的无源标准漏孔,采用自研RMI-MTC™微通道毛细管技术,配合自研RMI-Cal™气体物质属性、流导模拟/仿真算法,可以做到根据用户的要求进行精确定制:
✪指定标准漏孔的入口压力-出口压力
✪指定漏率
✪提供全气体选择:包括但不限于He,H2, Air,Ar,,CH4,R-134a,600a,SF6等单一气体或混合气体,十二烷C12H26、DMC碳酸二甲酯C3H6O3等液体
✪并且提供众多的接头,供用户选择。
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典型无源漏孔五:双端NPT⅛外丝,睿米®自研一体式结构 (无拼接和胶水),长度60mm,可选47mm或75mm |
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睿米®漏孔增强特性:自研微通道毛细管&密封工艺,抗震|抗摔|-20~65℃高低温|温度系数0.6%/℃ |
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定制同时指定压力&漏率定制,压力:最大40MPa,漏率:100mbar.L/s~1E-9mbar.L/s |
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睿米®订货号 |
说明 |
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1 |
RM515.0-710BBV0/6/0.5-7 |
He 5.0x10-7Pa.m³/s@0.5bar绝压 ±10% 不确定度:±8.0% 双端NPT⅛外丝 |
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2 |
RM519.9-710BBV0/6/0.9-7 |
He 9.9xx10-7Pa.m³/s@0.9bar绝压 ±10% 不确定度:±8.0% 双端NPT⅛外丝 |
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3 |
RM515.0-510BBV0/6/10-G |
He 5.0x10-5Pa.m³/s@10bar表压 ±10% 不确定度:±3.8% 双端NPT⅛外丝 |
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4 |
RM515.0-510BBV0/4/2-G |
He 5.0x10-5mbar.L/s@2bar表压 ±10% 不确定度:±5.5% 双端NPT⅛外丝 |
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5 |
RM51L-510BBV0/4/2-G |
He 1~3x10-5mbar.L/s@2bar表压 不确定度:±5.5% 双端NPT⅛外丝 |
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6 |
RM51M-610BBV0/4/2-G |
He 4~6x10-6mbar.L/s@2bar表压 不确定度:±8.0% 双端NPT⅛外丝 |
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7 |
RM51L-610BBV0/4/2-G |
He 1~3x10-6mbar.L/s@2bar表压 不确定度:±8.0% 双端NPT⅛外丝 |
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8 |
RM512.0-510BBV0/4/1-G |
He 2.0x10-5mbar.L/s ±10% @1bar表压 不确定度:±5.5% 双端NPT⅛外丝 |
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9 |
RM511.0-410BBV0/4/22-M |
He 1.0x10-4mbar.L/s ±10% @22Mpa表压 不确定度:±5.5% 双端NPT⅛外丝 |
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10 |
RM518.0-610BBV0/4/2-G |
He 8.0x10-6mbar.L/s ±10% @2bar表压 不确定度:±8.0% 双端NPT⅛外丝 |
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11 |
RM512.0-710BBV0/4/2-G |
He 2.0x10-7mbar.L/s ±10% @2bar表压 不确定度:±8.0% 双端NPT⅛外丝 |
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注:如料号建立系统不支持字符‘/’,请以字符‘-’替代 |
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可同时指定压力和漏率精确定制,漏率范围:8mbar.L/s~1x10-9mbar.L/s 压力:0-40MPa |
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支持各种气体类型:He,H2,5%H2/95%N2,D2,He3,O2,Ar,Ke,Ne,Xe,N2,CO2,CO,CH4,卤素/冷媒,混合气体... |
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睿米 ® 标准漏孔:深耕漏孔技术领域,提供高精度解决方案
RealMeter® Calibrated Leak Standard: Focused on leak standard technology, delivering precision solutions
上海睿米仪器仪表有限公司,专业专注标准漏孔的研发与规模化生产。依托多年精密测控技术沉淀,公司成功突破微通道毛细管核心工艺难题,自主研发出多款达到国际先进技术水平的标准漏孔产品。公司产品广泛应用于新能源、汽车、制冷、电子、电力、半导体、航空航天、核工业、医疗、食品包装等众多领域,持续为各行业提供高精度、高稳定性的标准漏孔计量产品,助力各行业气密性检测与质控工作实现更高效、更精准的标准化管控。