氘气D2标准漏孔-MDZV™阀-上海睿米仪器仪表有限公司

应用领域：

1. 核工业与核聚变研究（核心应用）：这是氘气标准漏孔最重要、最独特的应用领域。

2. 半导体工业：在一些先进的半导体工艺中，会使用到氢气或含氘气体（例如，在化学气相沉积中作为载气，或用于退火工艺）。

3. 科学研究：粒子加速器与表面科学,研究等离子体辐照后材料中氢同位素的滞留情况等，高精尖科学研究中，会用氘气标准漏孔。

4.新能源及特种工业领域：在氢能、新能源等新兴工业领域，部分特殊工艺会涉及氘气的使用或相关气体检测。
睿米公司的标准漏孔，采用自研RMI-MTC™微通道毛细管技术，配合自研RMI-Cal™气体物质属性、流导模拟/仿真算法，可以做到根据用户的要求进行精确定制：

★手动，零体积阀，呆体积<0.1μL| 阀门开关对RGA/高真空系统零冲击

★适合大漏率、超高真空、半导体、四极质谱、RGA残余气体分析，昂贵气体等场景

★支持所有气体10+1 ~10-8mbar.L/s漏率定制: Air/XCDA, He, H2, D2, HD, N2, O2, Ar, Kr, Xe, Ne, CO2, CO, CH4, C2H6, 混气...

Detailed technical specifications详细技术规格

技术规格
1	订货号	RM5DL-6154JVG/6
2	气体	100%D2（氘气）
3	漏率	要求1~2x10-6Pa.m³/sec 入真空
3	漏率	测量校准点：(2.0, 1.9, 1.8, 1.7, 1.6, 1.5, 1.4, 1.3, 1.2, 1.1, 1.0)x10-6Pa.m³/sec 入真空
4	气室/充气压力	160cc，~1MPa
5	阀门	RMI-MZV™零体积手动阀
		※呆体积：0.098μL，开/关阀门气体接近0损失, 对系统0冲击
		※内漏：<5x10-10atm.cc/sec ※外漏：<1x10+11atm.cc/sec
6	制作工艺	RMI-MTC™微通道（Micro-Tube Capillary）, RMI-Metal™金属密封，抗震，抗摔，对运输和使用环境无特殊要求。使用寿命长, 支持400Bar高压反复冲击，防堵塞性优异, 使用温度：-20~65℃, 漏率稳定，温度敏感性小(无源：-0.6%/℃，有源：0.1%/℃).
7	出口连接	VCR1/4 male，转CF16
8	衰减	~23%/年（阀门常开）不使用时，务必保持阀门关闭！
9	压力	1.6Mpa压力表（数字式）
10	规格尺寸	350mm(长) x 130mm(最宽) x 80mm(高)
11	证书	默认附睿米®出厂检测证书，或第三方CNAS检测证书（如需要）

睿米 ® 标准漏孔：深耕漏孔技术领域，提供高精度解决方案

RealMeter® Calibrated Leak Standard: Focused on leak standard technology, delivering precision solutions

上海睿米仪器仪表有限公司，专业专注标准漏孔的研发与规模化生产。依托多年精密测控技术沉淀，公司成功突破微通道毛细管核心工艺难题，自主研发出多款达到国际先进技术水平的标准漏孔产品。公司产品广泛应用于新能源、汽车、制冷、电子、电力、半导体、航空航天、核工业、医疗、食品包装等众多领域，持续为各行业提供高精度、高稳定性的标准漏孔计量产品，助力各行业气密性检测与质控工作实现更高效、更精准的标准化管控。