
睿米® RM515.0-61140V0/6 走的是 5.0×10⁻⁶ 这一档:③ 段填 5.0、④ 段 −6,标称 5.0×10⁻⁶ Pa·m³/sec,技术规范原文写「入大气/真空」,⑨ 段 V 指真空侧用法,加工公差 ±10%,不确定度 ±5.5%;⑤ 段 1 是单个校准点;⑦ 段 4 是 160cc 气室,充气压力约 11MPa,可反复充气;⑥ 段 1 是手动截止阀,阀体、KF16 出口与漏孔做成一体;⑧ 段 0 对应 KF16,⑩ 段 0 表示不带压力表,⑪ 段 6 说明单位取 Pa·m³/sec;整支 260mm 长、90mm 最宽。工艺是 RMI-MTC™ 微通道配 RMI-Metal™ 金属密封,支持 400Bar 高压反复冲击、防堵塞,-20~65℃ 可用,有源型号温度敏感性 0.1%/℃,压力衰减标 ~9%/年(阀门 365×24 小时常开),技术规范在这一行下面单独写了一句「不使用时,务必关闭阀门!」。5.0×10⁻⁶ 这个数放在检漏仪量程的中段用最稳,贴着量程两端读,线性偏差会显出来,同一支漏孔换一台仪器就可能差几个百分点,判据卡得紧的工位尤其要留意。9% 那行是阀门全年常开的口径,现场多数时间阀门是关着的,实际补气间隔会比这个数算出来的更宽,台账按真实开阀时长折算,比照抄一行字更贴近。阀门长期不动也有代价,阀座与阀芯贴合面会慢慢粘住,一季度开合两三次、每次拧一到两圈,比放一年再拧要省心,也顺手确认了睿米这套漏孔的手感还在。③④ 两段把数值定死、⑦ 段定气室、⑥⑧ 定阀门与接口,四件事读明白,一支漏孔在工位上能撑多久、什么时候该复核,心里就有数了。
| 序号 | 项目 | 参数 |
|---|---|---|
| 1 | 品牌/订货号 | 睿米® RM515.0-61140V0/6 |
| 2 | 气体 | 100%He |
| 3 | 漏率 | 5.0x10-6pa.m³/sec 入大气/真空 加工公差:±10%不确定度:±5.5%单个校准点(⑤=1)⑪ 段 6 = Pa·m³/sec |
| 4 | 气室/充气压力 | 160cc,~11Mpa 可反复充气设计⑦ 段 4 = 160cc |
| 5 | 阀门 | 手动截止阀,集成KF16接一体化设计 气室顶部另有充气口,非充气时不拧动顺时针关闭,逆时针打开打开时拧 1~2 圈即可,严禁拧到底 |
| 6 | 制作工艺 | RMI-MTC™微通道(Micro-Tube Capillary)· RMI-Metal™金属密封 抗震,抗摔,对运输和使用环境无特殊要求使用寿命长支持400Bar高压反复冲击防堵塞性优异使用温度:-20~65℃漏率稳定温度敏感性小(无源:-0.6%/℃,有源:0.1%/℃) |
| 7 | 出口连接 | KF16 |
| 8 | 压力衰减 | ~9%/年(阀门365x24小时常开) 不使用时,务必关闭阀门! |
| 9 | 规格尺寸 | 260mm(长) x 90mm(最宽) |
| 10 | 证书 | 默认附 睿米®出厂检测证书,或第三方 CNAS检测证书(如需要) |
| 序号 | 参数名称 | 编码值 | 参数详情 |
|---|---|---|---|
| 1 | 漏孔类型 | RM5 | 睿米微通道毛细管工艺(有源,自带气室) |
| 2 | 气体类型 | 1 | 100% He(氦气) |
| 3 | 漏率大小 a | 5.0 | a = 5.0(定值填法;若改填档位 L 则交付区间为 1.0~3.9,加工公差 ±10%) |
| 4 | 漏率量级 b | −6 | b = −6,即 10⁻⁶ 量级 |
| 5 | 校准点个数 n | 1 | 1 个校准点 |
| 6 | 阀门类型 | 1 | 手动截止阀(顺时针关闭、逆时针打开;打开时拧 1~2 圈即可,严禁拧到底) |
| 7 | 气室规格 | 4 | 160cc 气室(同段位其他档:U = 50、V = 75cc、1 = 100cc、3 = 200cc、2 = 300cc、8 = 500cc、6 = 1000cc、X = 定制);充气压力约 11MPa,可反复充气 |
| 8 | 出口接头 | 0 | KF16(集成在阀体上,与漏孔一体化设计;同段位其他档:1 = KF25、5 = VCR ¼ male、D = 吸枪适配口、J = CF16、W = R¼ 外丝、Z = RBE03) |
| 9 | 出口端压力 | V | 真空(气室正压、出口接真空侧;A = 大气、X = 特殊压力) |
| 10 | 压力表 | 0 | 无压力表(G = 有);气室余压靠充气台账与补气记录管理 |
| 11 | 漏率单位 | 6 | Pa·m³/sec(同段位其他档:1 = atm.cc/sec、3 = scc/m、4 = mbar.L/sec、8 = g/y、TL = torr.L/s、LH = L/hour) |
| 序号 | 参数名称 | 选中值 | 可选参数配置 |
|---|---|---|---|
| 1 | 漏孔类型 | 5 · 微通道 | 5微通道毛细管工艺 |
| 2 | 气体类型 | 1 · He | 1氦气 He2空气 Air3氩气 Ar4氮气 N₂5二氧化碳 CO₂6乙烷 C₂H₆7乙烯 C₂H₄A冷媒 R12B冷媒 R22C氢气 H₂D氘气 D₂ESF₆F氖气 NeG氙气 XeH冷媒 R134aJ甲烷 CH₄K氪气 KrL冷媒 R404aM冷媒 R290O一氧化碳 COP冷媒 R407cR冷媒 R410aW冷媒 R600aX客户指定 |
| 3 | 漏率大小 a | a = 3.6 | #.#1.0~9.9 具体值X量程内任意值L低位 1.0~3.9M中位 4.0~6.9H高位 7.0~9.9 |
| 4 | 漏率量级 b | b = −5 | +2 ~ −13全部量级可选(本机 −5) |
| 5 | 校准点个数 | 1 · 单点 | 1单个校准点K整数·数量不限 |
| 6 | 阀门类型 | 0 · 无阀门 | 0无阀门1手动23 通电磁阀 24VDC3手动角阀4PSOZV 常闭气动零体积5MDZV 手动零体积7隔膜阀-手动8隔膜阀-气动 |
| 7 | 入口接头 | B · NPT⅛外丝 | 0无(无气室)U50 ccV75 cc1100 cc3200 cc2300 cc8500 cc4160 cc61000 cc5液+气双气室(冷媒)9客户指定气室ANPT⅛ 内丝BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝DNPT¼ 外丝EMVCR¼FFVCR¼GG⅛ 外丝HG¼ 外丝IM5 外螺纹JKF16KKF25LM8 外丝MCF35NCF16OM10 外螺纹P直管/焊接管Q10-32UNF 外丝RR⅛ 外丝SM5 外丝WR¼ 外丝X客户定制接口 |
| 8 | 出口接头 | N · 无 | N无0KF161KF252KF405MVCR¼6FVCR¼7NPT⅛ 内丝8NPT¼ 外丝910-32UNF 外丝A直管/焊接管BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝D吸枪适配口ECF35GG⅛ 外丝HG¼ 外丝JCF16LM8 外丝RR⅛ 外丝QKF50T10-32UNF 内丝WR¼ 外丝ZStaubli RBE03 |
| 9 | 出口端压力 | V · 真空 | V真空A大气(正压)X特定压力 |
| 10 | 其他选项 | 0 · 无压力表 | 0无压力表G带压力表X客户有特殊要求 |
| 11 | 漏率单位 | 4 · mbar·L/s | 1atm.cc/sec3sccm4mbar.L/sec6Pa.m³/sec8g/y(克/年)LHL/H(升/小时)TLTorr.L/s |
| 12 | 气源压力值 | 35 | ##.##数值(仅无源漏孔) |
| 13 | 压力单位 | M · MPa-表压 | 1PSI-绝压2PSI-表压3标准大气压-绝压7bar-绝压8mbar-绝压AKpa-绝压FKpa-表压Gbar-表压MMPa-表压 |
| 14 | 气体浓度 | 10 · 10% | ##浓度百分比 ##%(本机 10%) |
| 15 | 总 / 分漏率 | P · 分漏率 | P分漏率T总漏率 |