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有源He标准漏孔5.0x10-7Pa.m³/sec,入真空

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所属分类:有源漏孔 产品简介
有源 He(100% 氦气)标准漏孔 · 漏率 5.0×10⁻⁷ Pa·m³/sec,入真空/大气(加工公差 ±10%)· 不确定度 ±8.0% · ③ 段填定值 5.0,交付范围 4.5~5.5 · 160cc 气室、充气压力约 10MPa、可反复充气 · 手动截止阀,集成 KF25 与漏孔一体化设计 · 无压力表(⑩=0)· ⑪ 段 6 = Pa·m³/sec · 11 段编码(有源无 ⑫⑬⑮)· 压力衰减 ~2.1%/年 · RMI-MTC™ 微通道 + RMI-Metal™ 金属密封,400Bar 高压反复冲击、防堵塞 · 使用温度 -20~65℃,有源温度敏感性 0.1%/℃ · 260mm 长 × 90mm 最宽 · 默认附出厂检测证书(可选 CNAS)。
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Detailed technical specifications详细技术规格
睿米® 微通道 有源He标准漏孔
RM515.0-71141V0/6 技术规格    漏率:5.0x10-7Pa.m³/sec,入真空
RMI-MTC™微通道毛细管工艺|抗震抗摔|超高压力|极低衰减
更新日期:2026-10-27
有源He标准漏孔 RM515.0-71141V0/6 订货号解读(③5.0 ④−7 · ⑤1 校准点 · ⑥1 手动截止阀 · ⑦4 160cc 气室 · ⑧1 KF25 出口 · ⑨V 入真空 · ⑩0 无压力表 · ⑪6 Pa.m³/sec · 漏率 5.0×10⁻⁷)

睿米® 出品的有源He标准漏孔 RM515.0-71141V0/6 把漏率定在 5.0×10⁻⁷ 这一档:③ 段 5.0、④ 段 −7,标称 5.0×10⁻⁷ Pa·m³/sec,技术规范原文写「入真空/大气」,⑨ 段 V 指真空侧用法,加工公差 ±10%,不确定度 ±8.0%;⑤ 段 1 是单个校准点;⑦ 段 4 是 160cc 气室,充气压力约 10MPa,可反复充气;⑥ 段 1 是手动截止阀,阀体、KF25 出口与漏孔做成一体;⑧ 段 1 对应 KF25,⑩ 段 0 表示不带压力表,⑪ 段 6 说明单位取 Pa·m³/sec;整支 260mm 长、90mm 最宽。工艺是 RMI-MTC™ 微通道配 RMI-Metal™ 金属密封,支持 400Bar 高压反复冲击、防堵塞,-20~65℃ 可用,有源型号温度敏感性 0.1%/℃,漏率衰减标 ~2.1%/年,在同系列里属于偏慢的一支。气室充到 10MPa,储的氦足够多,日常点检的补气间隔可以拉得很宽,台账按补气记录排期就够。10⁻⁷ 档的读数爬起来慢,接上系统先别急着抄数,等数值爬到平台再记,多等两三分钟比反复重测省事。KF25 通径比 KF16 大一圈,出口电导高,配大抽速腔体或吸枪时压力损失小,读数更容易贴近证书值。作为一支氦气标准漏孔,它的边界很清楚:定值交付、单点校准、气室自带压力,⑫⑬⑮ 三段没有,⑧ 段按现场法兰选口径,这几处读明白,选型和验收都不容易出错。

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有源He标准漏孔 RM515.0-71141V0/6 结构标注图(充气阀门 · 160cc 气室 · 出厂标签 · 内嵌集成微通道毛细管 · 手动截止阀 · KF25 出口 · 阀门手柄)

常见问题(FAQ)

半年以上不用,气室和阀门要不要特殊处理?
要处理,但不用拆。停用前把截止阀顺时针关到底,让氦封在气室里,出口侧套上防尘帽或塑料堵头;存放地点避开阳光直射和容易结露的角落,-20~65℃ 是工作温度,存放按车间常温即可。气室压力高,长期停用不必放空,氦不会自己变质,反倒是反复充放容易把外部空气和水汽带进阀口。重新启用时先空放一两秒把阀口可能积的湿气吹掉,再接系统,读数更容易一次稳定。停满一年的,别默认读数还停在证书值上,先按补气后的实测值登记一次,再决定要不要送检。
一支 5.0×10⁻⁷ 信号偏弱,两支并联起来用可行吗?
流量上能相加,量值上不建议这么用。两支并到同一个腔体,泄漏量确实会叠加,但并联之后是一个新的组合体,它没有证书,也不落在 ±10% 的公差带里,两支付各自的衰减还会随时间慢慢拉开。要更大的漏率,正规做法是按目标值重新订一支,订货时把 ③ 段填 1.0、④ 段填 −6,交付给的是单一实测值。真要做应急替代,至少保证两支同规格、同批次、同一充气压力,并用一台已校准的检漏仪实测组合值登记进台账,别把两张证书上的数直接相加当结果。
同系列有 ±3.4%、±5.5%,这一支为什么是 ±8.0%?
漏率越小,标定时的相对不确定度越难压小。氦检系统本身有本底,读一支 5.0×10⁻⁷ 的漏孔,本底在总量里占的比例比读 5.0×10⁻⁵ 时大得多,扣本底这一步引入的误差会被按比例放大;信号弱,得拉长累积时间才能把噪声压下去,而累积时间越长,温度漂移与抽速波动的贡献越明显。几项合成起来就是 ±8.0%。小漏率型号的不确定度普遍比大漏率型号宽,这是计量上的常态,不是这一支做得差;做数据比对时记住这一点,两支数值范围不同的漏孔,别用同一个百分比去卡它们的一致性。
以上问答基于睿米® 产品数据与行业通行做法整理,漏率、公差与温度系数以出厂检测证书为准。

10 项关键参数 · 一次说清楚

订货号:RM515.0-71141V0/6

以上技术规格根据客户配置参数编写,气体、漏率、气室容积、充气压力与出口接头均支持按需定制,欢迎联系睿米® 工程师。
快速交付:最大产能 100-300pcs/天,定制周期:3-5 天(如需 CNAS 证书 +7 天);根据指定压力 & 漏率定制,公差方向可选。
序号项目参数
1品牌/订货号睿米® RM515.0-71141V0/6
2气体100%He
3漏率5.0x10-7Pa.m³/sec 入真空/大气
加工公差:±10%不确定度:±8.0%单个校准点(⑤=1)⑪ 段 6 = Pa·m³/sec
4气室/充气压力160cc,~10Mpa
可反复充气设计⑦ 段 4 = 160cc
5阀门手动截止阀,集成KF25接一体化设计
气室顶部另有充气口,非充气时不拧动顺时针关闭,逆时针打开打开时拧 1~2 圈即可,严禁拧到底
6制作工艺RMI-MTC™微通道(Micro-Tube Capillary)· RMI-Metal™金属密封
抗震,抗摔,对运输和使用环境无特殊要求使用寿命长支持400Bar高压反复冲击防堵塞性优异使用温度:-20~65℃漏率稳定温度敏感性小(无源:-0.6%/℃,有源:0.1%/℃)
7出口连接KF25
8压力衰减~2.1%/年
9规格尺寸260mm(长) x 90mm(最宽)
10证书默认附 睿米®出厂检测证书,或第三方 CNAS检测证书(如需要)
本表 10 项逐条取自技术规范原始文件「技术规格」页原文,未作增删。

订货号:RM515.0-71141V0/6漏率 = a × 10b = 5.0 × 10⁻⁷ Pa·m³/sec(入真空 = ⑨ 段 V)· 有源带气室型号(⑥ 手动截止阀 · ⑦ 160cc 气室 · ⑧ KF25 出口)· ⑪ 段 6 = Pa·m³/sec · 单一气体,无 ⑫⑬⑮ 段,共 11 段

 
RM5
2
气体
类型
1
3
漏率
大小a
5.0
4
漏率
量级b
−7
5
校准点
个数n
1
6
阀门
类型
1
7
气室
规格
4
8
出口
接头
1
9
出口端
压力
V
10
压力
表
0
11
漏率
单位
6
序号参数名称编码值参数详情
1漏孔类型RM5睿米微通道毛细管工艺(有源,自带气室)
2气体类型1100% He(氦气)
3漏率大小 a5.0a = 5.0(定值填法;若改填档位 L 则交付区间为 1.0~3.9,加工公差 ±10%)
4漏率量级 b−7b = −7,即 10⁻⁷ 量级
5校准点个数 n11 个校准点
6阀门类型1手动截止阀(顺时针关闭、逆时针打开;打开时拧 1~2 圈即可,严禁拧到底)
7气室规格4160cc 气室(同段位其他档:U = 50、V = 75cc、1 = 100cc、3 = 200cc、2 = 300cc、8 = 500cc、6 = 1000cc、X = 定制);充气压力约 10MPa,可反复充气
8出口接头1KF25(集成在阀体上,与漏孔一体化设计;同段位其他档:0 = KF16、5 = VCR ¼ male、D = 吸枪适配口、J = CF16、W = R¼ 外丝、Z = RBE03)
9出口端压力V真空(气室正压、出口接真空侧;A = 大气、X = 特殊压力)
10压力表0无压力表(G = 有);气室余压靠充气台账与补气记录管理
11漏率单位6Pa·m³/sec(同段位其他档:1 = atm.cc/sec、3 = scc/m、4 = mbar.L/sec、8 = g/y、TL = torr.L/s、LH = L/hour)
配置参数:有源 He(100% 氦气)标准漏孔 · 漏率 5.0×10⁻⁷ Pa·m³/sec 入真空(加工公差 ±10%,不确定度 ±8.0%)· 单个校准点 · 160cc 气室(充气压力约 10MPa,可反复充气)· 手动截止阀,集成 KF25 与漏孔一体化设计 · 无压力表 · 漏率单位 Pa·m³/sec · 压力衰减约 2.1%/年· RMI-MTC™ 微通道 + RMI-Metal™ 金属密封 · 260mm×90mm
说明:编号中的 “-” 与 “/” 仅为分隔 / 连接符号,不参与参数解读;③ 段 a 可为具体数值(如本支 5.0),也可写档位 L(1.0-3.9)/ M(4.0-6.9)/ H(7.0-9.9);④ 段 b 取 -9~0 之间任意值;⑥ 段阀门 0 = 无、1 = 手动、2 = 电磁阀、3 = 手动角阀、4 = PSOZV 阀、5 = MDZV 阀、7 = 手动隔膜阀、8 = 气动隔膜阀;⑦ 段气室规格 U = 50、V = 75cc、1 = 100cc、4 = 160cc、3 = 200cc、2 = 300cc、8 = 500cc、6 = 1000cc、X = 定制;⑧ 段出口接头 0 = KF16、1 = KF25、5 = VCR ¼ male、D = 吸枪适配口、J = CF16、W = R¼ 外丝、Z = RBE03;⑨ 段出口端压力 A = 大气(正压)、V = 真空、X = 特殊压力;⑩ 段压力表 0 = 无、G = 有;⑪ 段漏率单位 1 = atm·cc/sec、3 = scc/m、4 = mbar·L/sec、6 = Pa·m³/sec、8 = g/y、TL = torr·L/s、LH = L/hour。有源型号的气室自带充气压力,因此没有 ⑫ 段(入气端压力值)与 ⑬ 段(压力单位),这一点与无源型号的编号不同;单一气体型号(He / Air / N₂ 等)也不带 ⑮ 段,混气型号才有 P(分漏率)/ T(总漏率)。

睿米® 标准漏孔配置指导-总表

RM513.6-510BNV0/4/35-M/10P
蓝框为该示例订货号 RM513.6-510BNV0/4/35-M/10P 选中的参数值(示例,非本页参数;本页实际配置见上方订货号解读表)。
序号参数名称选中值可选参数配置
1漏孔类型5 · 微通道
5微通道毛细管工艺
2气体类型1 · He
1氦气 He2空气 Air3氩气 Ar4氮气 N₂5二氧化碳 CO₂6乙烷 C₂H₆7乙烯 C₂H₄A冷媒 R12B冷媒 R22C氢气 H₂D氘气 D₂ESF₆F氖气 NeG氙气 XeH冷媒 R134aJ甲烷 CH₄K氪气 KrL冷媒 R404aM冷媒 R290O一氧化碳 COP冷媒 R407cR冷媒 R410aW冷媒 R600aX客户指定
3漏率大小 aa = 3.6
#.#1.0~9.9 具体值X量程内任意值L低位 1.0~3.9M中位 4.0~6.9H高位 7.0~9.9
4漏率量级 bb = −5
+2 ~ −13全部量级可选(本机 −5)
5校准点个数1 · 单点
1单个校准点K整数·数量不限
6阀门类型0 · 无阀门
0无阀门1手动23 通电磁阀 24VDC3手动角阀4PSOZV 常闭气动零体积5MDZV 手动零体积7隔膜阀-手动8隔膜阀-气动
7入口接头B · NPT⅛外丝
0无(无气室)U50 ccV75 cc1100 cc3200 cc2300 cc8500 cc4160 cc61000 cc5液+气双气室(冷媒)9客户指定气室ANPT⅛ 内丝BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝DNPT¼ 外丝EMVCR¼FFVCR¼GG⅛ 外丝HG¼ 外丝IM5 外螺纹JKF16KKF25LM8 外丝MCF35NCF16OM10 外螺纹P直管/焊接管Q10-32UNF 外丝RR⅛ 外丝SM5 外丝WR¼ 外丝X客户定制接口
8出口接头N · 无
N无0KF161KF252KF405MVCR¼6FVCR¼7NPT⅛ 内丝8NPT¼ 外丝910-32UNF 外丝A直管/焊接管BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝D吸枪适配口ECF35GG⅛ 外丝HG¼ 外丝JCF16LM8 外丝RR⅛ 外丝QKF50T10-32UNF 内丝WR¼ 外丝ZStaubli RBE03
9出口端压力V · 真空
V真空A大气(正压)X特定压力
10其他选项0 · 无压力表
0无压力表G带压力表X客户有特殊要求
11漏率单位4 · mbar·L/s
1atm.cc/sec3sccm4mbar.L/sec6Pa.m³/sec8g/y(克/年)LHL/H(升/小时)TLTorr.L/s
12气源压力值35
##.##数值(仅无源漏孔)
13压力单位M · MPa-表压
1PSI-绝压2PSI-表压3标准大气压-绝压7bar-绝压8mbar-绝压AKpa-绝压FKpa-表压Gbar-表压MMPa-表压
14气体浓度10 · 10%
##浓度百分比 ##%(本机 10%)
15总 / 分漏率P · 分漏率
P分漏率T总漏率
* 配置矩阵无法覆盖所有气体 / 接头类型,如需定制请电话或邮件联系 · 根据客户指定漏率和压力进行精确定制 · 定制交付 3–5 天(CNAS 证书 +1 周)。全量可选项与《睿米® 标准漏孔配置指导-总表》一致。
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