睿米® 型号 RM515.0-91111V0/6 落在 5.0×10⁻⁹ 这一档：③ 段 5.0、④ 段 −9，标称 5.0×10⁻⁹ Pa·m³/sec，技术规范原文写「入真空/大气」，⑨ 段 V 指真空侧用法，加工公差 ±10%，不确定度 ±8.0%；⑤ 段 1 是单个校准点；⑦ 段 1 是 100cc 气室，充气压力约 1.5MPa，可反复充气；⑥ 段 1 是手动截止阀，阀体、KF25 出口与漏孔做成一体；⑧ 段 1 对应 KF25，⑩ 段 0 表示不带压力表，⑪ 段 6 说明单位取 Pa·m³/sec；整支 230mm 长、90mm 最宽。工艺是 RMI-MTC™ 微通道配 RMI-Metal™ 金属密封，支持 400Bar 高压反复冲击（气室最高 ~12MPa）、防堵塞，-20~65℃ 可用，有源型号温度敏感性 0.1%/℃，漏率衰减标 ~0.2%/年，气室压力低、通道又细，压力掉得很慢。100cc 配 1.5MPa，整支 230mm，比 160cc 那几款短一截，工位挤或要拎着走时更省地方；充到 1.5MPa 只用掉气室耐压的一小部分，长期存放对密封面也友好。10⁻⁹ 这一档的读数爬得慢，接上系统别急着抄数，等数值爬到平台再记，多等几分钟比反复重测省事。作为一支氦气标准漏孔，它的用法边界很清楚：定值交付、单点校准、气室自带压力，⑫⑬⑮ 三段没有，⑧ 段按现场法兰选口径，⑦ 段按工位空间选容积。一支 10⁻⁹ 档的漏孔，选型时真正要核的就是三件事：气室多大、出口什么口径、气室里还剩多少压。
| 序号 | 项目 | 参数 |
|---|---|---|
| 1 | 品牌/订货号 | 睿米® RM515.0-91111V0/6 |
| 2 | 气体 | 100%He |
| 3 | 漏率 | 5.0x10-9pa.m³/sec 入真空/大气 加工公差：±10%不确定度：±8.0%单个校准点（⑤=1）⑪ 段 6 = Pa·m³/sec |
| 4 | 气室/充气压力 | 100cc，~1.5Mpa 可反复充气设计⑦ 段 1 = 100cc |
| 5 | 阀门 | 手动截止阀，集成KF25接一体化设计 气室顶部另有充气口，非充气时不拧动顺时针关闭，逆时针打开打开时拧 1~2 圈即可，严禁拧到底 |
| 6 | 制作工艺 | RMI-MTC™微通道（Micro-Tube Capillary）· RMI-Metal™金属密封 抗震，抗摔，对运输和使用环境无特殊要求使用寿命长支持400Bar高压反复冲击（气室最高~12MPa）防堵塞性优异使用温度：-20~65℃漏率稳定温度敏感性小（无源：-0.6%/℃，有源：0.1%/℃） |
| 7 | 出口连接 | KF25 |
| 8 | 压力衰减 | ~0.2%/年（阀门365x24小时常开） |
| 9 | 规格尺寸 | 230mm(长) x 90mm(最宽) |
| 10 | 证书 | 默认附 睿米®出厂检测证书，或第三方 CNAS检测证书（如需要） |
| 序号 | 参数名称 | 编码值 | 参数详情 |
|---|---|---|---|
| 1 | 漏孔类型 | RM5 | 睿米微通道毛细管工艺（有源，自带气室） |
| 2 | 气体类型 | 1 | 100% He（氦气） |
| 3 | 漏率大小 a | 5.0 | a = 5.0（定值填法；若改填档位 L 则交付区间为 1.0~3.9，加工公差 ±10%） |
| 4 | 漏率量级 b | −9 | b = −9，即 10⁻⁹ 量级 |
| 5 | 校准点个数 n | 1 | 1 个校准点 |
| 6 | 阀门类型 | 1 | 手动截止阀（顺时针关闭、逆时针打开；打开时拧 1~2 圈即可，严禁拧到底） |
| 7 | 气室规格 | 1 | 100cc 气室（同段位其他档：U = 50、V = 75cc、4 = 160cc、3 = 200cc、2 = 300cc、8 = 500cc、6 = 1000cc、X = 定制）；充气压力约 1.5MPa，可反复充气 |
| 8 | 出口接头 | 1 | KF25（集成在阀体上，与漏孔一体化设计；同段位其他档：0 = KF16、5 = VCR ¼ male、D = 吸枪适配口、J = CF16、W = R¼ 外丝、Z = RBE03） |
| 9 | 出口端压力 | V | 真空（气室正压、出口接真空侧；A = 大气、X = 特殊压力） |
| 10 | 压力表 | 0 | 无压力表（G = 有）；气室余压靠充气台账与补气记录管理 |
| 11 | 漏率单位 | 6 | Pa·m³/sec（同段位其他档：1 = atm.cc/sec、3 = scc/m、4 = mbar.L/sec、8 = g/y、TL = torr.L/s、LH = L/hour） |
| 序号 | 参数名称 | 选中值 | 可选参数配置 |
|---|---|---|---|
| 1 | 漏孔类型 | 5 · 微通道 | 5微通道毛细管工艺 |
| 2 | 气体类型 | 1 · He | 1氦气 He2空气 Air3氩气 Ar4氮气 N₂5二氧化碳 CO₂6乙烷 C₂H₆7乙烯 C₂H₄A冷媒 R12B冷媒 R22C氢气 H₂D氘气 D₂ESF₆F氖气 NeG氙气 XeH冷媒 R134aJ甲烷 CH₄K氪气 KrL冷媒 R404aM冷媒 R290O一氧化碳 COP冷媒 R407cR冷媒 R410aW冷媒 R600aX客户指定 |
| 3 | 漏率大小 a | a = 3.6 | #.#1.0~9.9 具体值X量程内任意值L低位 1.0~3.9M中位 4.0~6.9H高位 7.0~9.9 |
| 4 | 漏率量级 b | b = −5 | +2 ~ −13全部量级可选（本机 −5） |
| 5 | 校准点个数 | 1 · 单点 | 1单个校准点K整数·数量不限 |
| 6 | 阀门类型 | 0 · 无阀门 | 0无阀门1手动23 通电磁阀 24VDC3手动角阀4PSOZV 常闭气动零体积5MDZV 手动零体积7隔膜阀-手动8隔膜阀-气动 |
| 7 | 入口接头 | B · NPT⅛外丝 | 0无（无气室）U50 ccV75 cc1100 cc3200 cc2300 cc8500 cc4160 cc61000 cc5液+气双气室（冷媒）9客户指定气室ANPT⅛ 内丝BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝DNPT¼ 外丝EMVCR¼FFVCR¼GG⅛ 外丝HG¼ 外丝IM5 外螺纹JKF16KKF25LM8 外丝MCF35NCF16OM10 外螺纹P直管/焊接管Q10-32UNF 外丝RR⅛ 外丝SM5 外丝WR¼ 外丝X客户定制接口 |
| 8 | 出口接头 | N · 无 | N无0KF161KF252KF405MVCR¼6FVCR¼7NPT⅛ 内丝8NPT¼ 外丝910-32UNF 外丝A直管/焊接管BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝D吸枪适配口ECF35GG⅛ 外丝HG¼ 外丝JCF16LM8 外丝RR⅛ 外丝QKF50T10-32UNF 内丝WR¼ 外丝ZStaubli RBE03 |
| 9 | 出口端压力 | V · 真空 | V真空A大气（正压）X特定压力 |
| 10 | 其他选项 | 0 · 无压力表 | 0无压力表G带压力表X客户有特殊要求 |
| 11 | 漏率单位 | 4 · mbar·L/s | 1atm.cc/sec3sccm4mbar.L/sec6Pa.m³/sec8g/y（克/年）LHL/H（升/小时）TLTorr.L/s |
| 12 | 气源压力值 | 35 | ##.##数值（仅无源漏孔） |
| 13 | 压力单位 | M · MPa-表压 | 1PSI-绝压2PSI-表压3标准大气压-绝压7bar-绝压8mbar-绝压AKpa-绝压FKpa-表压Gbar-表压MMPa-表压 |
| 14 | 气体浓度 | 10 · 10% | ##浓度百分比 ##%（本机 10%） |
| 15 | 总 / 分漏率 | P · 分漏率 | P分漏率T总漏率 |
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