

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

睿米标准漏孔在半导体 RGA分析全场景应用

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
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应用领域:
这是氧气标准漏孔最关键、最广泛的应用领域之一,直接关系到人身安全。
a. 医疗设备制造与质检:呼吸机、麻醉机、制氧机:这些设备的氧气通路必须严格密封。
b. 药品包装密封性测试:许多药品(尤其是注射液、生物制剂、疫苗)对氧气极其敏感,需要存放在密封的容器中,需要隔绝氧气。
2. 高端制造与真空技术
a. 半导体芯片制造:芯片制造过程中的许多关键步骤(如化学气相沉积、氧化)需要在超高纯度的工艺气氛或超高真空环境下进行。反应腔室或气体管道微小的氧气泄漏都会污染工艺环境,导致整批晶圆报废。氧气标准漏孔用于校准在线泄漏监测系统,确保其能及时发现极其微小的泄漏,保障工艺的纯净度和产品良率。
b. 真空镀膜行业等。
3. 新能源与科学研究
a. 燃料电池研发与测试:氢燃料电池的核心是质子交换膜,它需要完全隔绝氢气和氧气(空气)。微小的氧气泄漏(或氢气泄漏到氧气侧)会严重影响电池的效率、性能和寿命。氧气标准漏孔用于校准检测燃料电池堆密封性的设备,确保其能够精确测量氧气的泄漏率
b.尖端科学研究装置:诸如粒子加速器、同步辐射光源、核聚变实验装置(如托卡马克)等,都需要维持极高的真空度(极端情况下可达10⁻¹⁰ Pa甚至更高)。微小的泄漏都是不可接受的。氧气是大气的主要成分之一,氧气标准漏孔是校准这些庞大复杂真空系统检漏仪的必备工具。
1. 医疗与生命科学(对安全要求极高)
★手动,零体积阀,呆体积<0.1μL| 阀门开关对RGA/高真空系统零冲击
★适合大漏率、超高真空、半导体、四极质谱、RGA残余气体分析,昂贵气体等场景
★支持所有气体10+1 ~10-8mbar.L/s漏率定制: Air/XCDA, He, H2, D2, HD, N2, O2, Ar, Kr, Xe, Ne, CO2, CO, CH4, C2H6, 混气...
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技术规格 |
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1 |
订货号 |
RM5O25.8-51545V0/4 |
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2 |
气体 |
O2(100%) |
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漏率 |
5.8x10-5mbar.L/sec 入真空 制作公差:±10% |
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不确定度:±10% |
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4 |
气室/充气压力 |
160cc,~2.0MPa |
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5 |
阀门 |
RMI-MZV™零体积手动阀 |
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※呆体积:0.098μL,开/关阀门气体接近0损失, 对系统0冲击 |
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※内漏:<5x10-10atm.cc/sec ※外漏:<1x10+11atm.cc/sec |
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6 |
制作工艺 |
RMI-MTC™微通道(Micro-Tube Capillary), RMI-Metal™金属密封, 抗震,抗摔,对运输和使用环境无特殊要求。使用寿命长, 支持400Bar高压反复冲击, 防堵塞性优异, 使用温度:-20~65℃, 漏率稳定, 温度敏感性小(无源:-0.6%/℃,有源:0.1%/℃). |
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7 |
出口连接 |
VCR ¼ Male |
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8 |
衰减 |
使用衰减:<3.0%/年(100次x60分钟)不使用时,务必保持阀门关闭! |
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规格尺寸 |
280mm(长) x 80mm(最宽) |
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证书 |
默认附睿米®出厂检测证书,或第三方CNAS检测证书(如需要) |

睿米 ® 标准漏孔:深耕漏孔技术领域,提供高精度解决方案
RealMeter® Calibrated Leak Standard: Focused on leak standard technology, delivering precision solutions
上海睿米仪器仪表有限公司,专业专注标准漏孔的研发与规模化生产。依托多年精密测控技术沉淀,公司成功突破微通道毛细管核心工艺难题,自主研发出多款达到国际先进技术水平的标准漏孔产品。公司产品广泛应用于新能源、汽车、制冷、电子、电力、半导体、航空航天、核工业、医疗、食品包装等众多领域,持续为各行业提供高精度、高稳定性的标准漏孔计量产品,助力各行业气密性检测与质控工作实现更高效、更精准的标准化管控。
