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氧气O2标准漏孔-MDZV™阀

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所属分类:标准漏孔形式分类 产品简介
睿米® 可以根据用户的需要,做到高度的定制。包括定制压力、漏率、气体、接口等(如果是单一气体,该气体的漏率;如果是混合气体,定制某一气体的分漏率或混合气总漏率、气体种类、比例、同位素、丰度等)。 订货号:RM5O25.8-51545V0/4 校准漏率:5.8x10-5mbar.L/sec,加工公差:±10%;氧气O2(100%) ;气室160cc;出口真空,出口接头VCR1/4 male;RMI-MDZV™ 零体积手动阀。
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应用领域:


1. 医疗与生命科学(对安全要求极高)

这是氧气标准漏孔最关键、最广泛的应用领域之一,直接关系到人身安全。

a. 医疗设备制造与质检:呼吸机、麻醉机、制氧机:这些设备的氧气通路必须严格密封。

b. 药品包装密封性测试:许多药品(尤其是注射液、生物制剂、疫苗)对氧气极其敏感,需要存放在密封的容器中,需要隔绝氧气。

2. 高端制造与真空技术

  a. 半导体芯片制造:芯片制造过程中的许多关键步骤(如化学气相沉积、氧化)需要在超高纯度的工艺气氛或超高真空环境下进行。反应腔室或气体管道微小的氧气泄漏都会污染工艺环境,导致整批晶圆报废。氧气标准漏孔用于校准在线泄漏监测系统,确保其能及时发现极其微小的泄漏,保障工艺的纯净度和产品良率。

  b. 真空镀膜行业等。

3. 新能源与科学研究

  a. 燃料电池研发与测试:氢燃料电池的核心是质子交换膜,它需要完全隔绝氢气和氧气(空气)。微小的氧气泄漏(或氢气泄漏到氧气侧)会严重影响电池的效率、性能和寿命。氧气标准漏孔用于校准检测燃料电池堆密封性的设备,确保其能够精确测量氧气的泄漏率

  b.尖端科学研究装置:诸如粒子加速器、同步辐射光源、核聚变实验装置(如托卡马克)等,都需要维持极高的真空度(极端情况下可达10⁻¹⁰ Pa甚至更高)。微小的泄漏都是不可接受的。氧气是大气的主要成分之一,氧气标准漏孔是校准这些庞大复杂真空系统检漏仪的必备工具。

睿米公司的标准漏孔,采用自研RMI-MTC™微通道毛细管技术,配合自研RMI-Cal™气体物质属性、流导模拟/仿真算法,可以做到根据用户的要求进行精确定制:

★手动,零体积阀,呆体积<0.1μL| 阀门开关对RGA/高真空系统零冲击

★适合大漏率、超高真空、半导体、四极质谱、RGA残余气体分析,昂贵气体等场景

★支持所有气体10+1 ~10-8mbar.L/s漏率定制: Air/XCDA, He, H2, D2, HD, N2, O2, Ar, Kr, Xe, Ne, CO2, CO, CH4, C2H6, 混气...

Detailed technical specifications详细技术规格

技术规格

1

订货号

RM5O25.8-51545V0/4

2

气体

 O2(100%)  

3

漏率

5.8x10-5mbar.L/sec              入真空      制作公差:±10%     

不确定度:±10%

4

气室/充气压力

160cc,~2.0MPa

5

阀门

RMI-MZV零体积手动阀

※呆体积:0.098μL,开/关阀门气体接近0损失, 对系统0冲击

※内漏:<5x10-10atm.cc/sec    ※外漏:<1x10+11atm.cc/sec

6

制作工艺

RMI-MTC微通道(Micro-Tube Capillary),   RMI-Metal金属密封, 抗震,抗摔,对运输和使用环境无特殊要求。使用寿命长,   支持400Bar高压反复冲击,   防堵塞性优异,    使用温度:-20~65℃,     漏率稳定,    温度敏感性小(无源:-0.6%/℃,有源:0.1%/℃).

7

出口连接

VCR ¼ Male 

8

衰减

使用衰减:<3.0%/年(100次x60分钟)不使用时,务必保持阀门关闭!

10

规格尺寸

280mm(长) x 80mm(最宽) 

11

证书

默认附睿米®出厂检测证书,或第三方CNAS检测证书(如需要)

睿米 ® 标准漏孔:深耕漏孔技术领域,提供高精度解决方案

RealMeter® Calibrated Leak Standard: Focused on leak standard technology, delivering precision solutions

 

上海睿米仪器仪表有限公司,专业专注标准漏孔的研发与规模化生产。依托多年精密测控技术沉淀,公司成功突破微通道毛细管核心工艺难题,自主研发出多款达到国际先进技术水平的标准漏孔产品。公司产品广泛应用于新能源、汽车、制冷、电子、电力、半导体、航空航天、核工业、医疗、食品包装等众多领域,持续为各行业提供高精度、高稳定性的标准漏孔计量产品,助力各行业气密性检测与质控工作实现更高效、更精准的标准化管控。

 



上海睿米仪器仪表(RealMeter) 全球标准漏孔领导者 · 专业团队全程为您服务
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