有源He标准漏孔（1.0-3.0）x10-7mbar.L/sec

Q: 衰减写 ~2.1%/年（5min/day*1次），工位一天开几十次阀还能按这个数算吗？

不能照搬。2.1%/年 是绑着「每天通电 5 分钟、开阀一次」这个工况给出的，年衰减算的是一年从气室里放走多少氦，阀开得越勤、每次开得越久，放走的氦就越多，那个百分数自然要往上走。现场改了节拍之后，把单次通电时长与每天次数记进点检台账，折算成等效的每天开阀时长，再和 5min/day 对齐：接近就沿用 2.1%，翻了十倍就把复校与补气节点一起提前。三通阀每次切换时出口侧泄放掉的那点残氦也算在消耗里，阀关断后气室一侧仍封着高压氦，漏孔本身并没有停工。证书上的实测值对应标定那一刻，长期趋势看台账，别把年衰减率直接当校准周期用。

Detailed technical specifications详细技术规格

睿米® 微通道有源He标准漏孔

CL51L-712U0V0/4 技术规格

漏率：（1.0-3.0）x10-7mbar.L/sec，入真空

RMI-MTC™微通道毛细管工艺|抗震抗摔|超高压力|极低衰减

更新日期：2026-11-08

有源He标准漏孔 CL51L-712U0V0/4 订货号解读（① CL5 睿米® RMI-MTC™ 微通道定制款 · ②1 100% He · ③L 低位档位漏率 ④−7 = (1.0-3.0)×10⁻⁷ · ⑤1 单校准点 · ⑥2 3通电磁阀 24VDC · ⑦U 50cc 气室 · ⑧0 KF16 出口 · ⑨V 入真空 · ⑩0 无压力表 · ⑪4 mbar.L/sec · 漏率（1.0-3.0）x10-7mbar.L/sec 入真空 · 135mm×95mm）

睿米® 用一个字母订漏率的这支有源He标准漏孔 CL51L-712U0V0/4，① 段 CL5 是睿米® RMI-MTC™ 微通道工艺的定制款，② 段 1 是 100% He，③ 段 L 不是数字而是低位档位，④ 段 −7 把它落在 10⁻⁷ 上，⑤ 段 1 说明只有一个校准点，⑥ 段 2 是 3 通电磁阀、24VDC 供电，⑦ 段 U 是 50cc 气室，⑧ 段 0 是 KF16 出口，⑨ 段 V 指出口接真空侧，⑩ 段 0 是本体上不带压力表，⑪ 段 4 把单位定在 mbar.L/sec，编号到 ⑪ 段收尾，有源型号没有 ⑫⑬⑮ 三位。技术表第 4 项与页首写的都是「（1.0-3.0）x10-7mbar.L/sec，入真空」这一行，③ 段的 L 在配置总表里对应低位任意值档 1.0~3.9，本支按客户指定收窄到 1.0~3.0，这一段是交付时可选值的范围，不是公差带，也不是一支漏孔能在两个数之间来回变动；出厂在区间里取一个值逐支实测，标签大字与出厂检测证书上写的就是那一个数，不确定度 ±8.0%，这份技术表没有另列加工公差，页面也不替它补字。气室 50cc，技术表第 5 项只给容积、不给充气压力数值，通断交给 ⑥ 段那只 3 通电磁阀，阀体横在气室与 KF16 出口之间，整支 135mm 长、95mm 最宽，宽度大半来自横向伸出的这只阀；本体上没有压力表，余压靠补气台账与周期复校管，出口是 KF16，按 ⑨ 段 V 的接真空侧口径标定。工艺走 RMI-MTC™ 微通道配 RMI-Metal™ 金属密封，抗震抗摔、对运输和使用环境无特殊要求，支持 400Bar 高压反复冲击，防堵塞性优异，−20~65℃ 可用，有源温度敏感性 0.1%/℃。技术表第 9 项写「衰减 ~2.1%/年（5min/day*1次）」，标签底部也印着同一句，这个数绑定每天通电 5 分钟、开阀一次的工况，阀开得越勤，一年从气室放出去的氦越多，衰减要按累计通气时间重估。三条小知识：③ 段的字母档与 ② 段的气体码按位置读，② 段的 L 是冷媒 R404a，③ 段的 L 才是低位档，① 段 CL5 三位连读，别把其中的 L 拆出来当成另一个段位；区间档每支的实测值都不同，验收抄的是证书上那一个数，采购单上的字母只是范围；50cc 气室配 10⁻⁷ 这一档，每次开阀放出的氦很少，台账要记通电时长而不是自然天数，衰减数才对得上。按有源标准漏孔这一类的交付习惯，区间档每支单独出一张出厂检测证书，需要第三方 CNAS 检测证书时在订货时一并提出。把区间写进订货号、把实测值交给证书、把通电时长留给台账，这支漏孔装进自动台之后，读数会一直对得上班次表。

产品图片展示

有源He标准漏孔 CL51L-712U0V0/4 实物结构标注（50cc 气室 · 产品标签 ±8.0% 入真空温度 23.0℃ · 3通电磁阀 24VDC · 内嵌集成微通道毛细管 · KF16 接口 · 标签标注年衰减 2.1%/年 5min/day*1次）

常见问题（FAQ）

衰减写 ~2.1%/年（5min/day*1次），工位一天开几十次阀还能按这个数算吗？

不能照搬。2.1%/年是绑着「每天通电 5 分钟、开阀一次」这个工况给出的，年衰减算的是一年从气室里放走多少氦，阀开得越勤、每次开得越久，放走的氦就越多，那个百分数自然要往上走。现场改了节拍之后，把单次通电时长与每天次数记进点检台账，折算成等效的每天开阀时长，再和 5min/day 对齐：接近就沿用 2.1%，翻了十倍就把复校与补气节点一起提前。三通阀每次切换时出口侧泄放掉的那点残氦也算在消耗里，阀关断后气室一侧仍封着高压氦，漏孔本身并没有停工。证书上的实测值对应标定那一刻，长期趋势看台账，别把年衰减率直接当校准周期用。

L 档和可调漏率漏孔，在自动校准台上能互相替吗？

不能，这是两类东西。L 是订货号 ③ 段的一个档位，厂家在 1.0~3.9（本支收窄到 1.0~3.0）里取一个值，把通道做成固定流导，逐支实测写进证书；装到台上之后这个数不变，每天开机读到的都是同一个基准。可调漏率是另一类形态，靠机构改变流导，能在现场连续改数，适合扫量程、找判限、试仪器响应，但每调一次都要重新给值，复现性与证书口径都跟固定漏孔不同，也不适合拿来当溯源用的标准源。自动校准台要的是同一个数按节拍重复出现，用档位件、按证书那一个实测值用就够；研发阶段要摸量程再另外配可调件，两者在台账里也分开管。

② 段码表里的 L 和 ③ 段的 L，是同一个意思吗？

不是，段位编码按位置读，同一个字母落在第几段就按哪一档的码表解释。② 段是气体类型，L 在那里对应冷媒 R404a；③ 段是漏率大小 a，L 是低位任意值档（1.0~3.9），同段位还有 M（4.0~6.9）、H（7.0-9.9）、X（量程内任意值），以及直接写 #.# 的具体数值。本支 CL51L-712U0V0/4 里 ② 段是 1（100% He），字母 L 只出现在 ③ 段，所以读作漏率档位，跟气体没有关系。同理 ⑦ 段 U 是 50cc 气室、⑨ 段 V 是出口接真空、⑪ 段 4 是 mbar.L/sec，都按位置定含义。真正容易看错的不是字母，是把 ① 段 CL5 里的 L 也拆出来当一个独立段——CL5 三位连读，代表定制款微通道工艺。

以上问答基于睿米® 产品数据与行业通行做法整理，漏率、公差与温度系数以出厂检测证书为准。

11 项关键参数 · 一次说清楚

订货号：CL51L-712U0V0/4

以上技术规格根据客户配置参数编写，气体、漏率、气室容积与出口接头均支持按需定制，欢迎联系睿米® 工程师。
快速交付：最大产能 100-300pcs/天，定制周期：3-5 天（如需 CNAS 证书 +7 天）；根据指定漏率 & 气室配置定制，公差方向可选。

序号	项目	参数
1	品牌	睿米®
2	订货号	CL51L-712U0V0/4
3	气体	100%He
4	漏率	（1.0-3.0）x10-7mbar.L/sec 入真空不确定度：±8.0%单个校准点（⑤=1）③ 段 L = 低位档位漏率
5	气室/充气压力	50cc ⑦ 段 U = 50cc 气室
6	阀门	3通电磁阀，24VDC ⑥ 段 2 = 电磁阀
7	制作工艺	RMI-MTC™微通道（Micro-Tube Capillary）· RMI-Metal™金属密封抗震，抗摔，对运输和使用环境无特殊要求使用寿命长支持400Bar高压反复冲击防堵塞性优异使用温度：-20~65℃漏率稳定温度敏感性小（无源：-0.6%/℃，有源：0.1%/℃）
8	出口连接	KF16 ⑧ 段 0 = KF16
9	衰减	~2.1%/年（5min/day*1次）
10	规格尺寸	135mm（长）x 95mm（最宽）
11	证书	默认附睿米®出厂检测证书，或第三方 CNAS检测证书（如需要）

本表 11 项逐条取自技术规范原始文件「技术规格」页原文（序号 1~11），未作增删。

订货号：CL51L-712U0V0/4漏率 = a × 10^b = L × 10⁻⁷ mbar.L/sec（本支区间 1.0~3.0，总表 L 档通用范围 1.0~3.9；入真空 = ⑨ 段 V）· 有源带气室型号（⑥ 2 = 3 通电磁阀 24VDC · ⑦ U = 50cc 气室 · ⑧ 0 = KF16 出口）· ⑪ 段 4 = mbar.L/sec · 单一气体，无 ⑫⑬⑮ 段，共 11 段

CL5

2
气体
类型

3
漏率
大小a

4
漏率
量级b

−7

5
校准点
个数n

6
阀门
类型

7
气室
规格

8
出口
接头

9
出口端
压力

10
压力
表

11
漏率
单位

序号	参数名称	编码值	参数详情
1	漏孔类型	CL5	睿米® RMI-MTC™ 微通道毛细管工艺（定制款，CL 前缀；标准型为 RM5）
2	气体类型	1	100% He（高纯氦气）· 1 = He（本支）、2 = Air、3 = Ar、4 = N2、C = H2、D = D2、X = 定制气体；L 在 ② 段代表冷媒 R404a，与 ③ 段的 L 不是一回事
3	漏率大小 a	L	a = L（低位任意值档 1.0~3.9；本支按客户指定收窄到 1.0~3.0）· 同段位其他档：#.# = 1.0~9.9 的具体数值、X = 量程内任意值、M = 中位任意值 4.0~6.9、H = 高位任意值 7.0-9.9
4	漏率量级 b	−7	b = −7，即 10⁻⁷ 档
5	校准点个数 n	1	1 个校准点
6	阀门类型	2	3 通电磁阀，24VDC（同段位其他档：0 = 无、1 = 手动、3 = 手动角阀、4 = PSOZV 阀、5 = MDZV 阀、7 = 手动隔膜阀、8 = 气动隔膜阀）
7	气室规格	U	50cc 气室，技术表只给容积、未给充气压力数值（同段位其他档：V = 75cc、1 = 100cc、3 = 200cc、2 = 300cc、8 = 500cc、6 = 1000cc、X = 定制）
8	出口接头	0	KF16（同段位其他档：1 = KF25、5 = VCR ¼ male、8 = NPT¼ 外丝、B = NPT⅛ 外丝、J = CF16、W = R¼ 外丝、Z = RBE03 等）
9	出口端压力	V	真空（气室正压、出口接真空侧；A = 大气(正压)、X = 指定压力）
10	压力表	0	无压力表（同段位其他档：G = 有）
11	漏率单位	4	mbar.L/sec（本支主单位）· 同段位其他档：1 = atm.cc/sec、3 = scc/m、6 = Pa.m³/sec、8 = g/y、TL = torr.L/s、LH = L/hour

配置参数：有源 He（100%）标准漏孔 · 定制款（① CL5）· 漏率（1.0-3.0）x10-7mbar.L/sec 入真空（③ 段 L = 低位档位，不确定度 ±8.0%）· 单个校准点 · 50cc 气室（⑦ 段 U）· 3 通电磁阀 24VDC（⑥ 段 2）· KF16 出口 · 无压力表 · 漏率单位 mbar.L/sec（⑪ 段 4）· 衰减 ~2.1%/年（5min/day*1次）· RMI-MTC™ 微通道 + RMI-Metal™ 金属密封 · 135mm（长）x 95mm（最宽）

说明：编号中的 “-” 与 “/” 仅为分隔 / 连接符号，不参与参数解读；③ 段 a 可为 #.#（1.0~9.9 的具体数值）、X（量程内任意值），也可写档位 L（低位任意值 1.0~3.9）/ M（中位任意值 4.0~6.9）/ H（高位任意值 7.0-9.9）；如本支 L，按客户指定收窄到 1.0~3.0；④ 段 b 取 +2 到 -13 之间任意值（本支 -7）；⑤ 段填校准点个数，本支 1（K = 整数、数量不限）；⑥ 段阀门 0 = 无、1 = 手动、2 = 电磁阀（3 通电磁阀 24VDC）、3 = 手动角阀、4 = PSOZV 阀、5 = MDZV 阀、7 = 手动隔膜阀、8 = 气动隔膜阀；⑦ 段气室规格 U = 50cc、V = 75cc、1 = 100cc、4 = 160cc、3 = 200cc、2 = 300cc、8 = 500cc、6 = 1000cc、X = 定制；⑧ 段出口接头 0 = KF16、1 = KF25、5 = VCR ¼ male、8 = NPT¼ 外丝、B = NPT⅛ 外丝、J = CF16、W = R¼ 外丝、Z = RBE03；⑨ 段出口端压力 A = 大气（正压）、V = 真空、X = 指定压力；⑩ 段压力表 0 = 无、G = 有；⑪ 段漏率单位 1 = atm·cc/sec、3 = scc/m、4 = mbar·L/sec、6 = Pa·m³/sec、8 = g/y、TL = torr·L/s、LH = L/hour；② 段 L 代表冷媒 R404a，与 ③ 段的 L 按位置区分；① 段 CL5 三位连读，为定制款微通道工艺（标准型写作 RM5）。有源型号的气室自带充气压力，因此没有 ⑫ 段（入气端压力值）与 ⑬ 段（压力单位）；单一气体型号（He / Air / N₂ 等）也不带 ⑮ 段，混气型号才有 P（分漏率）/ T（总漏率）。

睿米® 标准漏孔配置指导-总表

RM513.6-510BNV0/4/35-M/10P

蓝框为该示例订货号 RM513.6-510BNV0/4/35-M/10P 选中的参数值（示例，非本页参数；本页实际配置见上方订货号解读表）。

序号	参数名称	选中值	可选参数配置
1	漏孔类型	5 · 微通道	5微通道毛细管工艺
2	气体类型	1 · He	1氦气 He2空气 Air3氩气 Ar4氮气 N₂5二氧化碳 CO₂6乙烷 C₂H₆7乙烯 C₂H₄A冷媒 R12B冷媒 R22C氢气 H₂D氘气 D₂ESF₆F氖气 NeG氙气 XeH冷媒 R134aJ甲烷 CH₄K氪气 KrL冷媒 R404aM冷媒 R290O一氧化碳 COP冷媒 R407cR冷媒 R410aW冷媒 R600aX客户指定
3	漏率大小 a	a = 3.6	#.#1.0~9.9 具体值X量程内任意值L低位 1.0~3.9M中位 4.0~6.9H高位 7.0~9.9
4	漏率量级 b	b = −5	+2 ~ −13全部量级可选（本机 −5）
5	校准点个数	1 · 单点	1单个校准点K整数·数量不限
6	阀门类型	0 · 无阀门	0无阀门1手动23 通电磁阀 24VDC3手动角阀4PSOZV 常闭气动零体积5MDZV 手动零体积7隔膜阀-手动8隔膜阀-气动
7	入口接头	B · NPT⅛外丝	0无（无气室）U50 ccV75 cc1100 cc3200 cc2300 cc8500 cc4160 cc61000 cc5液+气双气室（冷媒）9客户指定气室ANPT⅛ 内丝BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝DNPT¼ 外丝EMVCR¼FFVCR¼GG⅛ 外丝HG¼ 外丝IM5 外螺纹JKF16KKF25LM8 外丝MCF35NCF16OM10 外螺纹P直管/焊接管Q10-32UNF 外丝RR⅛ 外丝SM5 外丝WR¼ 外丝X客户定制接口
8	出口接头	N · 无	N无0KF161KF252KF405MVCR¼6FVCR¼7NPT⅛ 内丝8NPT¼ 外丝910-32UNF 外丝A直管/焊接管BNPT⅛ 外丝CNPT¼ 内丝D吸枪适配口ECF35GG⅛ 外丝HG¼ 外丝JCF16LM8 外丝RR⅛ 外丝QKF50T10-32UNF 内丝WR¼ 外丝ZStaubli RBE03
9	出口端压力	V · 真空	V真空A大气（正压）X特定压力
10	其他选项	0 · 无压力表	0无压力表G带压力表X客户有特殊要求
11	漏率单位	4 · mbar·L/s	1atm.cc/sec3sccm4mbar.L/sec6Pa.m³/sec8g/y（克/年）LHL/H（升/小时）TLTorr.L/s
12	气源压力值	35	##.##数值（仅无源漏孔）
13	压力单位	M · MPa-表压	1PSI-绝压2PSI-表压3标准大气压-绝压7bar-绝压8mbar-绝压AKpa-绝压FKpa-表压Gbar-表压MMPa-表压
14	气体浓度	10 · 10%	##浓度百分比 ##%（本机 10%）
15	总 / 分漏率	P · 分漏率	P分漏率T总漏率

* 配置矩阵无法覆盖所有气体 / 接头类型，如需定制请电话或邮件联系 · 根据客户指定漏率和压力进行精确定制 · 定制交付 3–5 天（CNAS 证书 +1 周）。全量可选项与《睿米® 标准漏孔配置指导-总表》一致。