

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

睿米标准漏孔在半导体 RGA分析全场景应用

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
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睿米公司的无源标准漏孔,采用自研RMI-MTC™微通道毛细管技术,配合自研RMI-Cal™气体物质属性、流导模拟/仿真算法,可以做到根据用户的要求进行精确定制:
✪指定标准漏孔的入口压力-出口压力
✪指定漏率
✪提供全气体选择:包括但不限于He,H2, Air,Ar,,CH4,R-134a,600a,SF6等单一气体或混合气体,十二烷C12H26、DMC碳酸二甲酯C3H6O3等液体
✪并且提供众多的接头,供用户选择。
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技术规格 |
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1 |
订货号 |
RM51L-41441V0/4 |
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气体 |
氦气He(100%) |
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3 |
漏率 |
L(1.0-3.9)x10-4mbar.L/sec 入真空 加工公差:±10% 不确定度:±3.8% |
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4 |
气室/充气压力 |
160cc,~10MPa |
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5 |
阀门 |
睿米®RMI-PSOZV™零体积常闭气动阀, |
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气动执行:4-6bar(M5内丝,转6*4快拧,接6mm气管) |
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呆体积:<0.1μL,阀门打开不冲击高/超高真空 |
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外漏: <1x10-10atm.cc/sec |
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内漏: <1x10-10atm.cc/sec(常规测试) |
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<5x10-8atm.cc/sec(5bar 100%He) |
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6 |
制作工艺 |
RMI-MTC™微通道(Micro-Tube Capillary), RMI-Metal™金属密封, 抗震,抗摔,对运输和使用环境无特殊要求。使用寿命长, 支持400Bar高压反复冲击, 防堵塞性优异, 使用温度:-20~65℃, 漏率稳定, 温度敏感性小(无源:-0.6%/℃,有源:0.1%/℃). |
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7 |
出口连接 |
VCR ¼ Male 转KF25 |
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8 |
衰减 |
漏率衰减:<2.0%/年(年使用:365x2次x5分钟) |
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不使用时,务必保持阀门关闭! |
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9 |
规格尺寸 |
约295mm(长)x 120mm(最宽) |
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10 |
证书 |
默认附睿米®出厂检测证书,或第三方CNAS检测证书(如需要) |

睿米 ® 标准漏孔:深耕漏孔技术领域,提供高精度解决方案
RealMeter® Calibrated Leak Standard: Focused on leak standard technology, delivering precision solutions
上海睿米仪器仪表有限公司,专业专注标准漏孔的研发与规模化生产。依托多年精密测控技术沉淀,公司成功突破微通道毛细管核心工艺难题,自主研发出多款达到国际先进技术水平的标准漏孔产品。公司产品广泛应用于新能源、汽车、制冷、电子、电力、半导体、航空航天、核工业、医疗、食品包装等众多领域,持续为各行业提供高精度、高稳定性的标准漏孔计量产品,助力各行业气密性检测与质控工作实现更高效、更精准的标准化管控。
