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RMI-PSOZV™常用RGA校准漏孔5

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所属分类：标准漏孔形式分类 产品简介
组份：1ppm Kr/Xe 余N2（99.9998%）（共3种气体） 睿米® 推出适用RGA（Residual Gas Analysis，残余气体分析仪）四极质谱，进行校准的标准漏孔。可以根据用户的需要，做到高度的定制。包括定制漏率（如果是单一气体，该气体的漏率；如果是混合气体，定制某一气体的分漏率或混合气总漏率）、气体种类、比例、同位素、丰度等。 单一气体定制： 可以选择任何需要监控或校准的特定气体，例如 H₂, O₂, CO₂, CH₄, SF₆, Kr, Xe 等 混合气体的定制： 1、气体种类： 精确模拟实际工艺腔室或真空系统中的残余气体成分。 2、气体比例： 设定各组分气体的精确浓度（例如：1ppm Kr/Xe 余N2）。 3、同位素种类与丰度： 这对于使用同位素示踪的研究、特定同位素敏感的应用或需要校准RGA同位素分辨能力的场景至关重要。例如，定制特定比例，1ppm Kr/Xe 余N2等
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应用场景

1、半导体制造： 精确监控和校准RGA对工艺气体残留（如蚀刻、沉积、离子注入后的副产物）、腔体泄漏（特定气体）的检测能力。定制混合气可模拟真实腔体环境。

2、真空镀膜： 校准RGA对背景气体（水汽、氧气、氮气、碳氢化合物）的灵敏度，确保镀膜质量。

3、高能物理/加速器： 需要监控超纯真空或特定气体环境。同位素定制对某些实验尤为重要。

4、聚变研究： 对氢同位素（H₂, D₂, T₂）及其比例的精确监测和校准需求极高。

5、航天器测试： 模拟太空环境或检测推进剂泄漏（如定制肼类气体或氙气）。

6、基础研究： 任何需要精确知道残余气体成分和比例，并对RGA测量精度有高要求的实验室。

7、泄漏检测（配合示踪气）： 虽然RGA本身常用于检漏，但定制特定示踪气体的标准漏孔可用于校准整个检漏系统（RGA+真空系统）对该种气体的响应。


睿米公司的标准漏孔，采用自研RMI-MTC™微通道毛细管技术，配合自研RMI-Cal™气体物质属性、流导模拟/仿真算法，可以做到根据用户的要求进行精确定制：

 

   ✪指定漏率，指定压力。

   ✪提供全气体选择：包括但不限于He，H2, Air，Ar，N2，CH4，R-134a，600a，SF6等单一气体或混合气体，十二烷C12H26、DMC碳酸二甲酯C3H6O3等液体。

   ✪并且提供众多的接头，供用户选择。

   ✪自研RMI-MZV™零体积手动阀，自研RMI-PSOZV™零体积主动关闭阀。

Detailed technical specifications详细技术规格

技术规格 (Performance Index)

1

订货号

RM545.0-61445V0/6/99.9998T

2

气体组份

1ppm Kr/Xe 余N2

3

漏率

5.0x10-6Pa.m³/sec

4

气室/充气压力

150cc，10bar

5

阀门

RRMI-PSOZV™零体积常闭气动阀，

呆体积：<0.1μL，阀门打开不冲击高/超高真空，开/关阀门气体接近0损失,

外漏<1x10-10atm.cc/sec

内漏<1x10-10atm.cc/sec

气动执行部件：4-6bar（M5内丝，转6*4快拧，接6mm气管）

6

制作工艺

RMI-MTCTM微通道毛细管|RMI-Metal™金属密封工艺

温度系数：0.1%/℃|工作温度：-20℃ ~ +65℃| 抗震抗摔

7

出口连接

VCR ¼ Male

8

衰减

自然衰减：<0.2%/年

使用衰减：<3.0%/年（60次x30min）

9

规格尺寸

290mm（长）x 120mm（最宽）

10

证书

出厂检测证书，或第三方检测证书

睿米 ® 标准漏孔：深耕漏孔技术领域，提供高精度解决方案

RealMeter® Calibrated Leak Standard: Focused on leak standard technology, delivering precision solutions

 

上海睿米仪器仪表有限公司，专业专注标准漏孔的研发与规模化生产。依托多年精密测控技术沉淀，公司成功突破微通道毛细管核心工艺难题，自主研发出多款达到国际先进技术水平的标准漏孔产品。公司产品广泛应用于新能源、汽车、制冷、电子、电力、半导体、航空航天、核工业、医疗、食品包装等众多领域，持续为各行业提供高精度、高稳定性的标准漏孔计量产品，助力各行业气密性检测与质控工作实现更高效、更精准的标准化管控。

 



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