RMI-PSOZV™无源漏孔-外接气源

应用场景

1、半导体制造： 精确监控和校准RGA对工艺气体残留（如蚀刻、沉积、离子注入后的副产物）、腔体泄漏（特定气体）的检测能力。定制混合气可模拟真实腔体环境。

2、真空镀膜： 校准RGA对背景气体（水汽、氧气、氮气、碳氢化合物）的灵敏度，确保镀膜质量。

3、高能物理/加速器： 需要监控超纯真空或特定气体环境。同位素定制对某些实验尤为重要。

4、聚变研究： 对氢同位素（H₂, D₂, T₂）及其比例的精确监测和校准需求极高。

5、航天器测试： 模拟太空环境或检测推进剂泄漏（如定制肼类气体或氙气）。

6、基础研究： 任何需要精确知道残余气体成分和比例，并对RGA测量精度有高要求的实验室。

7、泄漏检测（配合示踪气）： 虽然RGA本身常用于检漏，但定制特定示踪气体的标准漏孔可用于校准整个检漏系统（RGA+真空系统）对该种气体的响应。

   ✪指定漏率，指定压力。

   ✪提供全气体选择：包括但不限于He，H2, Air，Ar，N2，CH4，R-134a，600a，SF6等单一气体或混合气体，十二烷C12H26、DMC碳酸二甲酯C3H6O3等液体。

   ✪并且提供众多的接头，供用户选择。

   ✪自研RMI-MZV™零体积手动阀，自研RMI-PSOZV™零体积主动关闭阀。

睿米 ® 标准漏孔：深耕漏孔技术领域，提供高精度解决方案

RealMeter® Calibrated Leak Standard: Focused on leak standard technology, delivering precision solutions

上海睿米仪器仪表有限公司，专业专注标准漏孔的研发与规模化生产。依托多年精密测控技术沉淀，公司成功突破微通道毛细管核心工艺难题，自主研发出多款达到国际先进技术水平的标准漏孔产品。公司产品广泛应用于新能源、汽车、制冷、电子、电力、半导体、航空航天、核工业、医疗、食品包装等众多领域，持续为各行业提供高精度、高稳定性的标准漏孔计量产品，助力各行业气密性检测与质控工作实现更高效、更精准的标准化管控。