

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

睿米标准漏孔在半导体 RGA分析全场景应用

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
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应用场景
1、重工业领域:
♦风力发电机组齿轮箱润滑油泄漏测试校准
♦船舶发动机高压燃油系统检漏仪量值溯源
2、航空航天:
♦航空液压油(Skydrol)泄漏检测阈值设定
♦火箭燃料管路密封性验证
3、高温制造:
♦压铸机液压阀块在线检漏系统校准
♦钢铁连铸设备润滑回路测试基准
✪指定漏率,指定压力。
✪提供全气体选择:包括但不限于He,H2, Air,Ar,N2,CH4,R-134a,600a,SF6等单一气体或混合气体,十二烷C12H26、DMC碳酸二甲酯C3H6O3等液体。
✪并且提供众多的接头,供用户选择。
✪自研RMI-MZV™零体积手动阀,自研RMI-PSOZV™零体积主动关闭阀。
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序号 |
名称 |
参数 |
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1 |
订货号 |
*RM5C123.0-6Pa |
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2 |
漏率 |
3.0×10-7Pa·m³/sec;(23℃) |
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*漏率可定制,加工公差:±30%* |
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3 |
介质 |
正十二烷C12H26 |
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4 |
制作工艺 |
微通道毛细管 |
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5 |
阀门 |
PSOZV™常闭气动阀:x1 |
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常闭气动阀:x1 |
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气动压力:0.4-0.6Mpa, |
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接4mm或6mm气管 |
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6 |
出口压力 |
真空(<0.1pa) |
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7 |
温度系数 |
指数变化~12%/℃ |
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8 |
预抽时间 |
第一次,预抽~2h |
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正常使用~10分钟即可校准 |
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破真空后需重新预抽 |
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*预抽时间根据不同的液体介质、漏率相关,例如水H2O,DMC一般预抽时间需24h。 |
睿米 ® 标准漏孔:深耕漏孔技术领域,提供高精度解决方案
RealMeter® Calibrated Leak Standard: Focused on leak standard technology, delivering precision solutions
上海睿米仪器仪表有限公司,专业专注标准漏孔的研发与规模化生产。依托多年精密测控技术沉淀,公司成功突破微通道毛细管核心工艺难题,自主研发出多款达到国际先进技术水平的标准漏孔产品。公司产品广泛应用于新能源、汽车、制冷、电子、电力、半导体、航空航天、核工业、医疗、食品包装等众多领域,持续为各行业提供高精度、高稳定性的标准漏孔计量产品,助力各行业气密性检测与质控工作实现更高效、更精准的标准化管控。
