

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

睿米标准漏孔在半导体 RGA分析全场景应用

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
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DMC的应用非常广泛,主要可以归纳为三大方向:锂电池电解液、溶剂和化学合成中间体。
主要应用领域:
锂电池电解液(目前最大的应用领域):在锂离子电池中,DMC作为电解液溶剂(通常是混合溶剂的一部分)使用。
✪指定漏率,指定压力。
✪提供全气体选择:包括但不限于He,H2, Air,Ar,N2,CH4,R-134a,600a,SF6等单一气体或混合气体,十二烷C12H26、DMC碳酸二甲酯C3H6O3等液体。
✪并且提供众多的接头,供用户选择。
✪自研RMI-MZV™零体积手动阀,自研RMI-PSOZV™零体积主动关闭阀。
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技术规格(如上图) |
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订货型号 |
RMLIQUID-DMC01 |
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介质 |
DMC纯净物(Dimethyl carbonate,C3H6O3) |
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制作工艺 |
渗透膜法,温度系数:2.5%/℃ |
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漏率 |
10-150g/a入真空,可根据用户要求定制 |
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5 |
储罐装置 |
50ml |
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自然挥发(放置于大气中):<3g/年 |
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规格尺寸 |
φ11.0mm x 21.0mm(高) |
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使用方法 |
将漏孔整体放入真空合体中抽真空,水平放置 |
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8 |
校准方法 |
直接质量法,或四级质谱法 |

睿米 ® 标准漏孔:深耕漏孔技术领域,提供高精度解决方案
RealMeter® Calibrated Leak Standard: Focused on leak standard technology, delivering precision solutions
上海睿米仪器仪表有限公司,专业专注标准漏孔的研发与规模化生产。依托多年精密测控技术沉淀,公司成功突破微通道毛细管核心工艺难题,自主研发出多款达到国际先进技术水平的标准漏孔产品。公司产品广泛应用于新能源、汽车、制冷、电子、电力、半导体、航空航天、核工业、医疗、食品包装等众多领域,持续为各行业提供高精度、高稳定性的标准漏孔计量产品,助力各行业气密性检测与质控工作实现更高效、更精准的标准化管控。
