

卫星、火箭、空间站热控系统、真空舱、推进系统气密性检漏与精准标定

晶圆制程设备、真空生产设备、质谱仪/RGA残余气体分析精准标定

锂电池、氢能、燃料电池气密标定,电池包、管路、电堆气密性检测

燃油车/新能源车管路、电池包、空调、燃油系统气密性检测与设备校准

同步辐射装置、核电设备、超高真空实验室、计量院校准精密测控

医疗器械、精密管路、食品包装密封性检测与设备点检

睿米标准漏孔在半导体 RGA分析全场景应用

本白皮书以正十二烷(C12)标准漏孔为核心锚点,系统阐述了睿米RGA标准漏孔产品在半导体产业链HHC(重碳氢化合物)污染监控及各环节的标定应用场景、技术能力与边界条件。
About RealMeter上海睿米仪器仪表(RealMeter)深耕真空检漏、微流控领域十余载,以自研核心技术打破国外垄断,成为兼具全球技术领先性与全场景产品覆盖的标准漏孔专业厂商,持续为中国先进智造提供高精度、高稳定性的流体控制与检漏解决方案。
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睿米公司的无源标准漏孔,采用自研RMI-MTC™微通道毛细管技术,配合自研RMI-Cal™气体物质属性、流导模拟/仿真算法,可以做到根据用户的要求进行精确定制:
✪指定标准漏孔的入口压力-出口压力
✪指定漏率
✪提供全气体选择:包括但不限于He,H2, Air,Ar,,CH4,R-134a,600a,SF6等单一气体或混合气体,十二烷C12H26、DMC碳酸二甲酯C3H6O3等液体
✪并且提供众多的接头,供用户选择。
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技术规格 |
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1 |
订货号、 |
睿米® RLS-R600a |
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2 |
型号 |
RM5B2.0-0515DAG/8 |
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3 |
气体 |
R600a |
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(根据需求填充冷媒:R134a,R22,R290,R32,R407c,R410a,R600a,SF6...) |
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4 |
漏率 |
校准漏率点5个(可定制),入大气。 |
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测量校准点:2.0, 4.0, 6.0, 8.0,10.0克/年(g/y) 入大气 |
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详细见《产品标签》的压力-漏率对照表。 |
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5 |
制作工艺 |
RMI-MTC™微通道(Micro-Tube Capillary), 漏率稳定,抗震,抗摔,对运输和使用环境无特殊要求。使用寿命长, 防堵塞性优异。温度系数:-0.6%/℃。 |
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6 |
气室规格 |
双气室设计: 一次充注长期使用 |
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液态罐:50cc,带充液接口,可反复充液设计。 |
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气态罐:75cc |
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7 |
压力表 |
0.2级高精度数显压力表x1:锂电, 带充电接口 |
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充电器x1:5V1A |
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注意:1. 确保增压不要超过1.9bar |
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2. 运输、长期保存压力在1.6bar以下 |
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8 |
阀门 |
增压阀x1:需要增压时,逆时针缓慢打开增压阀;压力表读数上升;顺时针迅速关闭增压阀; |
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等待读数稳定读取压力。 |
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减压阀x1:需要减压时,逆时针缓慢打开减压阀;压力表读数下降;顺时针迅速关闭减压阀; |
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等待读数稳定读取压力 |
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9 |
校准接口 |
吸枪φ10mm适配口 |
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10 |
规格尺寸 |
168mm(宽)x115mm(高)x180mm(最深) |
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11 |
证书 |
默认附睿米®出厂检测证书, |
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或第三方CNAS检测证书(如需要) |
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全部冷媒类型以及物质物性查询
www.ap1700.com/Refrigerant.htm,可以查询所有的冷媒的物质物性
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R11 |
R1270 |
R245fa |
R407F |
R417C |
R431A |
R447A |
R459A |
R600 |
|
R1123 |
R13 |
R290 |
R407G |
R418A |
R432A |
R447B |
R459B |
R600A |
|
R113 |
R1336mzz(Z) |
R32 |
R407H |
R419A |
R433A |
R448A |
R460A |
R601 |
|
R114 |
R134a |
R365mfc |
R408A |
R419B |
R433B |
R449A |
R460B |
R601A |
|
R115 |
R14 |
R40 |
R409A |
R420A |
R433C |
R449B |
R50 |
R702 |
|
R1150 |
R141b |
R401A |
R409B |
R421A |
R434A |
R449C |
R500 |
R702 |
|
R116 |
R142b |
R401B |
R41 |
R421B |
R435A |
R450A |
R501 |
R702P |
|
R12 |
R143a |
R401C |
R410A |
R422A |
R436A |
R451A |
R502 |
R704 |
|
R1216 |
R150 |
R402A |
R410B |
R422B |
R436B |
R451B |
R503 |
R717 |
|
R1224yd(Z) |
R152a |
R402B |
R411A |
R422C |
R437A |
R452A |
R504 |
R718 |
|
R123 |
R161 |
R403A |
R411B |
R422D |
R438A |
R452B |
R507A |
R720 |
|
R1233ZD |
R170 |
R403B |
R412A |
R422E |
R439A |
R452C |
R508A |
R728 |
|
R1233zd(E) |
R21 |
R404A |
R413A |
R423A |
R440A |
R453A |
R508B |
R732 |
|
R1234yf |
R218 |
R405A |
R414A |
R424A |
R441A |
R454A |
R509A |
R744 |
|
R1234ze |
R22 |
R406A |
R414B |
R425A |
R442A |
R454B |
R510A |
R744A |
|
R1234ze(E) |
R227ea |
R407A |
R415A |
R426A |
R443A |
R454C |
R511A |
R764 |
|
R1234ze(Z) |
R23 |
R407B |
R415B |
R427A |
R444A |
R455A |
R512A |
RC318 |
|
R124 |
R236ea |
R407C |
R416A |
R428A |
R444B |
R456A |
R513A |
RE143A |
|
R1243zf |
R236fa |
R407D |
R417A |
R429A |
R445A |
R457A |
R513B |
RE245CB2 |
|
R125 |
R245ca |
R407E |
R417B |
R430A |
R446A |
R458A |
R515A |
RE245FA2 |
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RE347MCC |
睿米 ® 标准漏孔:深耕漏孔技术领域,提供高精度解决方案
RealMeter® Calibrated Leak Standard: Focused on leak standard technology, delivering precision solutions
上海睿米仪器仪表有限公司,专业专注标准漏孔的研发与规模化生产。依托多年精密测控技术沉淀,公司成功突破微通道毛细管核心工艺难题,自主研发出多款达到国际先进技术水平的标准漏孔产品。公司产品广泛应用于新能源、汽车、制冷、电子、电力、半导体、航空航天、核工业、医疗、食品包装等众多领域,持续为各行业提供高精度、高稳定性的标准漏孔计量产品,助力各行业气密性检测与质控工作实现更高效、更精准的标准化管控。
