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KF25 密封圈在 10-11mbar.L/sec(10-12pa.m3/sec) 量级检漏中的干扰实测

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KF25 密封圈在 10⁻¹¹ mbar·L/s(10⁻¹² Pa·m³/s)量级检漏中的干扰实测

极小漏率检测的头号干扰不是被测件,而是连接工装本身。一组实测:一只 KF25 氟橡胶密封圈对大气的氦渗透净贡献约 1×10⁻¹¹ mbar·l/s(1×10⁻¹² Pa·m³/s),且随大气氦本底波动、扣不干净。单个密封位就能淹没 10⁻¹² 量级被测信号——这就是极小漏率测试必须改用 VCR 金属面密封的实测依据。

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