介质分类氦气He漏孔氢气H2漏孔Air/N2气密性漏孔其他单一/混气漏孔MDZV™/PSOZV™零体积漏孔液态介质漏孔常用RGA漏孔CNAS常用参考漏孔气密性漏孔
形式分类有源漏孔无源漏孔液态介质漏孔冷媒/卤素漏孔真空漏孔正压漏孔(吸枪漏孔)RHSP通用吸枪SQT-100超级快速吸枪专业氦检漏服务
本视频把检漏工装本身作为被测对象,设置三组对照,验证不同密封形式在极小漏率测量中的本底贡献。结果显示:KF25 橡胶密封圈一侧的氦质谱检漏读数从 1.5×10⁻¹¹ mbar·l/s 持续爬向 2.5×10⁻¹¹,存在明显上升趋势;即便更换全新密封圈并连续抽真空 17~18 小时,8 分钟内的净贡献仍高达 0.8×10⁻¹¹;相比之下,VCR 金属面密封一侧的读数始终只在 1.1~1.3×10⁻¹¹ 的噪声范围内波动、无趋势。密封形式的选型,对极小漏率测量的影响是数量级级别的。